Mass Flow, bzw. Masse(n)durchfluss:

Die Mass Flow-Methode befüllt das zu prüfende Teil aus einem vorgefüllten Referenzvolumen (ReVo). Nach einer Abgleichphase wird die durch ein evtl. Leck verursachte Ausgleichsströmung zwischen den verbundenen Volumen am Ende der Messzeit ermittelt.

Differenzdruckverfahren:

Beim Differenzdruckverfahren kann man entweder den Druckabfall oder den Druckanstieg messen. Das zu prüfende Teil wird mit Druckluft befüllt bzw. evakuiert. Nach Ende der Befüllung wird der Prüfraum von der Befülleinheit getrennt und die sich im Laufe der Messzeit einstellende Druckänderung im Prüfteil gemessen. Ist das zu prüfende Teil undicht, nimmt der Druck über die Zeit im Prüfteil ab. Bei Vakuumprüfungen wird das undichte Teil über einen mit der Zeit zunehmenden Druck im Prüfteil erkannt.

Volumendurchfluss:

Sollen Prüfteile auf einen definierten Durchfluss geprüft werden, setzt man den Volumendurchfluss ein. Typischerweise kommt die Durchflussmethode bei Leitungen (z. B. Kraftstoffleitungen) und Ventilen (z. B. Kugelsitzventilen) zum Einsatz; die Durchflüsse sind in der Regel relativ groß.

Staudruck-, bzw. Verschlussprüfung:

Hierbei wird an Prüfteilen der Rückstau gemessen, mit dessen Hilfe man prüfen kann, ob z. B. eine Bohrung mit richtigem Durchmesser gefertigt wurde oder ob ein optisch nicht einsehbarer Kanal eines Gussteils eine Verengung aufweist.

Druckanstieg:

Das zu prüfende Werkstück wird von einem anderen Dichtprüfmodul (Differenzdruck oder Massefluss) mit Druckluft befüllt und eine Messung von innen nach außen durchgeführt. Nach der Messung bleibt das Werkstück befüllt und wird nicht entlüftet (Messung 1). Anschließend befüllt das  Druckanstiegsmodul den umgebenden Raum mit einem höheren Druck. Eine mögliche Undichtheit wird im Laufe der Zeit durch einen zunehmenden Druck im Werkstück erkannt (Messung 2), die Prüfrichtung ist dieses Mal von außen nach innen.